电子级萤石矿用于半导体封装等高端领域,锑作为 ppm 级低含量杂质,其检测需克服基体干扰、仪器灵敏度不足等难点,确保杂质含量符合严苛标准。
一、检测核心难点
含量极低:锑含量≤0.1ppm,接近常规仪器检出限,需强化富集与信号放大;
基体干扰:萤石中高含量氟、钙形成复合基体,抑制锑信号响应;
样品损失:前处理过程中锑易挥发或吸附,导致检测结果偏低。
二、关键技术要点
前处理富集:称取 20g 萤石样品,经硝酸 - 高氯酸混合酸消解,采用巯基棉分离富集锑,洗脱液定容至 10mL,提高锑浓度 20 倍;
基体干扰消除:消解时加入硼酸掩蔽氟离子,避免氟与锑形成络合物;ICP-MS 采用碰撞池技术(He 气流量 0.6L/min),消除钙基体干扰;
仪器参数优化:射频功率 1600W,采样深度 10mm, dwell 时间 50ms,选择 Sb 121 同位素,降低背景噪声,检出限可达 0.005ppm。
三、结果验证与合规
空白控制:全程使用超纯水、优级纯试剂,器皿经硝酸浸泡 24 小时,空白值≤0.002ppm;
标准物质验证:使用 GBW07238 萤石标准物质,加标回收率控制在 90%-105%;
报告要求:明确标注锑含量、检测方法(ICP-MS)及检出限,满足电子级原料入库检测要求。
低含量锑检测是电子级萤石矿质控的核心,上海百检检测中心采用 “富集 + 干扰消除” 技术,依托高精度 ICP-MS 仪器,实现锑含量精准测定,为半导体、光学玻璃等高端行业提供合规原料检测服务。







