
实验室高纯气体(如氮气、氢气、氦气)通过不锈钢管路输送至分析仪器(GC、ICP-MS),管路洁净度(颗粒度、水分、油分)直接影响实验数据准确性。检测范围包括新建管路验收、在用管路维护,涉及 Class 100 级洁净环境。
检测标准遵循 ISO 14644-1《洁净室及相关控制环境》与 GB/T 25915.1-2021《洁净室及相关受控环境 第 1 部分:空气洁净度等级》,规定管路内≥0.5μm 颗粒≤3.5 个 / L(Class 100 级),水分露点≤-70℃。
检测项目聚焦管路污染风险指标:
洁净度指标:
颗粒度:激光尘埃粒子计数器检测(采样流量 2.83L/min),记录≥0.1μm、≥0.5μm 颗粒浓度;
表面粗糙度:涡流检测仪测量管路内壁粗糙度(Ra≤0.2μm),防止颗粒吸附。
气体质量指标:
露点温度:冷镜式露点仪测定(精度 ±0.5℃),避免低温环境下管路结冰;
油 / 水分含量:红外光谱法检测油分(≤0.1mg/m³),确保无润滑剂残留污染气体。
密封性指标:
泄漏率:氦质谱检漏仪检测(泄漏率≤1×10⁻⁹mbar・L/s),防止外界空气渗入影响气体纯度。
检测方法结合在线监测与离线验证:
实时颗粒监测:在管路末端安装激光颗粒计数器,24 小时监控颗粒浓度波动,超标时自动报警;
分段吹扫检测:对管路分段吹扫(压力 0.8MPa),采集吹扫气体分析颗粒与水分,定位污染段落;
内壁清洁度验证:使用棉签擦拭管路内壁,溶剂萃取后 GC-MS 测定残留有机物(如硅油≤5ppb)。
百检检测中心在实验室气体管路检测领域具备洁净室检测资质,合作实验室配备美国 Metone 247B 颗粒计数器、德国 Testo 635 露点仪,可承接高校实验室、药企研发中心管路验收检测、定期维护检测等项目。检测费用按管路长度与洁净度等级计费,低于实验室检测行业平均水平 18%,报告可作为 CNAS 认证与实验数据追溯依据。如需实验室气体管路检测服务,欢迎联系百检获取专业洁净度检测方案。