气流流型是洁净室污染控制的核心要素，检测范围包括层流洁净室（单向流）、乱流洁净室（非单向流）及混合流洁净室，重点验证气流均匀性、涡流区域及污染物扩散规律。
核心检测项目与技术要求
气流流型可视化：使用烟雾发生器（如 DEHS 气溶胶）配合高速摄像机，观察气流走向，单向流区域气流夹角需≤15°，非单向流区域需避免明显涡流区，符合 GB 50736-2012《洁净厂房设计规范》。
自净时间测试：人为引入挑战污染物（如 10⁶个 / L 的 0.5μm 粒子），监测粒子浓度衰减至洁净室等级限值的时间，Class 100 洁净室自净时间≤10 分钟，Class 10000 洁净室≤30 分钟。
风速均匀性：单向流区域截面风速偏差≤20%，使用热球风速仪在离高效过滤器 0.3m 处均匀布点（每 2㎡不少于 1 点），检测数据需满足 ISO 14644-1 风速范围要求。
检测方法与实施流程
检测前需关闭洁净室排风系统 30 分钟，确保气流稳定。自净时间测试采用对数坐标绘制粒子浓度衰减曲线，计算 95% 置信区间内的衰减效率。百检合作实验室配备 TSI 8475 风速仪、Dantec 热线风速仪等高端设备，支持动态工况（人员活动 / 设备运行）下的气流扰动测试。
在半导体晶圆制造洁净室，针对 0.1μm 级粒子开展超净气流流型验证；在疫苗生产洁净室，结合生物安全柜运行状态检测气流交叉污染风险。百检检测团队具备 10 年以上洁净室检测经验，可提供包含流型优化建议的技术报告，帮助企业提升洁净室气流控制效率。
