高效过滤器是洁净室污染控制的关键屏障，检测对象包括新安装过滤器验收、在用过滤器年度检漏及维修后验证，覆盖 0.3μm（HEPA）至 0.12μm（ULPA）粒径范围的粒子拦截效率。

核心检测项目与技术要求

1. 气溶胶发生与检测：使用 PAO（癸二酸二辛酯）气溶胶发生器（浓度 10-20μg/L），配合光度计（如 TSI 9500）检测过滤器上下游粒子浓度，泄漏率需≤0.01%（HEPA）或≤0.001%（ULPA）。

2. 扫描检漏方法：以 50mm/s 速度扫描过滤器表面及边框，距离滤芯 25-30mm，发现泄漏点（泄漏率＞0.01%）时标记并修补，多次修补无效需整体更换。

3. 过滤器效率验证：结合洁净室等级，验证过滤器对目标粒径粒子的过滤效率（Class 100 洁净室需≥99.999%@0.3μm），符合 ISO 14644-3 性能测试要求。

检测方法与实施流程

检测前需运行空调系统 30 分钟以上，确保气流稳定。百检合作实验室配备 MetOne 3400 型气溶胶光度计、TSI 8130 粒子计数器等设备，支持层流罩、生物安全柜等局部净化设备的过滤器检测。针对半导体洁净室的 ULPA 过滤器，开展纳米级粒子（0.1μm）泄漏率测试，确保晶圆制造环境的超净要求。

作为第三方检测平台，百检提供过滤器全生命周期管理服务，包括初始安装检测、定期维护检漏、故障分析报告，帮助企业合理制定更换周期（通常 HEPA 过滤器使用周期 3-5 年，ULPA 视工况 1-3 年）。检测费用透明，无额外耗材费用，相比原厂服务节省 30% 成本。