通用机械中罗茨真空泵依靠转子啮合实现气体输送，转子水平间隙超 0.5mm 将使抽气速率下降 30%，压升速率超 5%/h 表明系统泄漏严重。百检基于维护规程与检测标准，构建全性能验证体系：

一、检测范围

1. 主体设备：油润滑罗茨真空泵、气冷罗茨真空泵（抽气速率 50-1000L/s，极限压力≤1Pa）；

2. 关键部件：“8” 字形转子、同步齿轮、轴承、机械密封；

3. 故障隐患：转子磨损、间隙过大、密封失效、齿轮啮合不良。

二、检测标准

1. 技术条件：JB/T 8941-2015《罗茨真空泵》；

2. 间隙规范：转子水平间隙（普通型 0.3-0.5mm，精密型 0.1-0.3mm）；

3. 性能测试：GB/T 19956.2-2005《容积真空泵性能测量方法 第 2 部分：极限压力》。

三、检测项目

1. 间隙精度：转子水平间隙（偏差 ±0.05mm）、转子与侧盖间隙（0.12-0.28mm）、齿轮侧隙；

2. 抽气性能：额定工况抽气速率（≥设计值 95%）、极限压力（≤1×10⁻¹Pa）、压升速率（≤5%/h）；

3. 运行状态：轴承温度（≤80℃）、运行噪声（≤85dB (A)）、密封泄漏率（≤1×10⁻⁹Pa・m³/s）。

四、检测方法

1. 间隙测量：采用塞尺与百分表组合测量，转子两端面均匀选取 8 个测点取平均值；

2. 抽气测试：搭建真空试验系统，用电容薄膜真空计测极限压力，皂膜流量计校准抽气速率；

3. 泄漏定位：氦质谱检漏仪对法兰、轴封等部位扫描，灵敏度达 5×10⁻¹²Pa・m³/s。

百检拥有专业间隙调整工具，可现场修复超差转子间隙，支持真空泵与真空系统联动测试，提供设备维护周期规划，报告可用于半导体行业真空设备验收。